真空中の現象の観察

 

真空中での現象を工業用内視鏡で観察

 

エッチング放電の使用例

エッチング放電の様子
  • 真空中の現象は、これまで真空装置の外側からは見ることはできませんでした。
  • そこで、サービスポートからスコープ(工業用内視鏡)を装置内の指定の場所に設置することで、内部の様子を鮮明な画像で観察可能にしました。
  • 放電現象やロボットの動きをモニターに表示し、或いは画像として記録することが出来ます。

(右図:エッチング放電の様子)


真空用シースカバー

真空用シースカバー
  • 真空槽にスコープを導入するには、フランジやサービスポートから真空用シースカバーを使用します。
  • 目的により石英ガラス、金属チューブ、曲がり管、ベローズなどがあります。
  • リーク量は10-6Pam3/sec以下



    (右図:真空用シースカバー)



使用する工業用内視鏡

工業用内視鏡
  • カールストルツ社のボアスコープは、特許であるHOPKINS®ロッドレンズを使用しているため、深い被写界深度が特徴です。
  • これは、一般的なリレーレンズ方式よりも遥かに明るく、高解像度でシャープ、かつ鮮明にイメージを捉えます。
  • ラインナップも約200種類と豊富です。



    (右図:工業用内視鏡)



    *製品製造会社:カールストルツ・エンドスコピージャパン株式会社
    真空装置・真空技術:アルバックテクノ株式会社)



お問い合せ

  • 現在、弊社ではテスト・評価のご希望があれば、専門家を貴社現場へ派遣し、実機を用いたデモ、並びにご相談のサービスを無料で実施しています。
  • 真空装置への取り付けのご相談も承っています。


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